序号

参展单位

序号

参展单位

1

浙江晶盛机电股份有限公司 

16

朗轩电子设备（上海）有限公司

2

北京京运通科技股份有限公司

17

上海阿法帕真空设备有限公司

3

苏州赫瑞特电子专用设备科技有限公司

18

中国科学院光电技术研究所

4

长春光华微电子设备工程中心有限公司

19

吉林市汇恒电子科技有限公司

5

江苏苏净集团有限公司

20

滁州美扬真空科技有限公司

6

赛瑞达智能电子装备(无锡)股份有限公司

21

苏州施密科微电子设备有限公司

7

青岛华旗科技有限公司

22

上海蔚福真空科技有限公司

8

苏州艾科瑞思智能装备股份有限公司

23

深圳格芯集成电路装备有限公司

9

江苏雷博微电子设备有限公司

24

上海泛拓机电有限公司

10

无锡奥特维科技股份有限公司

25

上海集迦电子科技有限公司

11

无锡松煜科技有限公司

26

北京中科同志科技股份有限公司            

12

山东力冠微电子装备有限公司

27

丹东奥龙射线仪器集团有限公司

13

青岛赛尔微电子设备有限公司

28

丹东辽东射线仪器有限公司

14

江苏晋誉达半导体股份有限公司

29

上海汉钟真空技术有限公司

15

北京北仪优成真空技术有限公司

30

苏州晶洲装备科技有限公司