SiC需求大增，设备市场将迎来新爆发

据 Yole Developpement 称，到2029年，SiC器件市场预计将超过100亿美元，CAGR 2023-2029年为25%。

由于大规模产能扩张，预计到2026 年，整个WFE（晶圆厂设备）SiC制造设备市场将达到50亿美元的峰值。

从6英寸到8英寸的过渡也是功率SiC投资的关键驱动力。  

设备制造商正在各个地区建设设施。碳化硅晶圆生产虽然重要但有限，但已大幅扩张，尤其是在中国，从而引发了大量设备订单。2023年，超过1/3的SiC晶圆和外延片市场被中国企业占领。这与中国的设备能力相符：截至2024年，多家中国PVT和HTCVD厂商活跃。随着价值链向设备的转移，中国的设备供应尚未自给自足。因此，中国设备厂商要想获得市场份额仍需要时间。 

预计从2024 年到2029 年，外延设备市场将累计产生43 亿美元的收入，而SiC 离子注入机市场预计同期将产生49 亿美元的收入。

扩散炉和热氧化机械等设备预计在未来五年内将产生14 亿美元的收入。M&I（计量与检测）工具对于检测SiC 晶圆/外延晶圆和器件加工过程中的缺陷至关重要，预计2024年至2029年累计收入将达到57 亿美元。

（来自：半导体行业观察）