晶盛机电：子公司研发的太阳能电池片生产设备成功出口

晶盛机电：子公司研发的太阳能电池片生产设备成功出口

近日，浙江晶盛机电科技股份有限公司（以下简称“晶盛机电”或“公司”）子公司浙江晶盛光子科技有限公司自主研发的太阳能电池片设备成功出口海外客户。

此次晶盛机电出口海外的设备包括PECVD、LPCVD和管式低压磷扩散炉等三款最新设备。其中，PECVD设备独特的细丝炉体设计，使效率分布更加收敛；LPCVD设备腔内热场分布更加均匀，Poly-Si沉积膜厚均匀性超业内水平；管式低压磷扩散炉创新应用了法兰独立水冷等设计，进一步改善了热管理和气流控制能力。

（来自：晶盛机电）