微导纳米：推出批量式原子层沉积镀膜设备（iTomic® MW）

微导纳米：推出批量式原子层沉积镀膜设备（iTomic® MW）

近日，江苏微导纳米科技股份有限公司（简称：微导纳米）自主研发的国产先进集成电路生产制造用批量式原子层沉积镀膜设备（iTomic®MW）通过客户验证，实现产业化。

该设备采用批量型（MINI-BATCH）腔体设计，可一次处理25片12英寸晶圆，适用于成膜镀率低，厚度要求高，产能要求高的关键工艺及应用。该设备利用特有的流畅设计，具有成膜速度快，占地面积小，产能高、使用成本低等优势，为存储芯片以及Micro-OLED显示器、MEMS等提供定制化量产的解决方案。设备技术指标达到国际同类设备水平。

（来自：微导纳米）