天准科技：发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

天准科技：发布国内首台40nm明场纳米图形晶圆缺陷检测设备

近日，苏州天准科技股份有限公司（简称“天准科技”或“公司”） 参股的苏州矽行半导体技术有限公司宣布，公司面向40nm技术节点的明场纳米图形晶圆缺陷检测设备TB1500已完成厂内验证，标志着国产半导体高端检测设备实现了新的突破。

TB1500，核心关键部件全部实现自主可控，同时采用了先进的信号处理算法，有效提高信噪比和检测灵敏度。为了满足40nm技术节点的工艺制程需求，TB1500提升了光源亮度和感度，增大了物镜视野和速度，能够捕捉更小缺陷尺寸。

（来自：天准科技）