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北方华创:集成电路工艺设备新产品发力,市场化改革顺利推进

近日,北方华创科技集团股份有限公司(以下简称“北方华创”或“公司”)发布业绩快报,2019年收入40.58亿元,同比增长22.1%;营业利润4.21亿元,同比增长25.9%;净利润3.09亿元,同比增长32.3%

根据公司关于年初在手订单公告,公司收入增长主要来自子公司北方华创微电子装备公司的集成电路工艺设备,主要是2019年以长江存储、合肥长鑫、华虹无锡项目、积塔半导体、青岛芯恩、燕东微等本土晶圆厂的密集扩产、投产,且北方华创的核心客户基本上覆盖了本土晶圆厂,集成电路工艺设备成为公司核心成长动力。公司集成电路工艺设备研发并产业化主要体现在三个方面:

一、NMC612D ICP刻蚀机成功应用于ICRD 14nm FinFET SADP工艺,并为进入7nm、5nm等先进制程奠定基础;

二、公司首次中标3D NAND客户的 3台Cu BS PVD设备,打破了国外公司独家垄断地位,将PVD工艺的市场覆盖范围从30%左右拓宽到100%;

三、自2018年实现首台销售后,2019年随着先进制程、先进封装、3D NAND对ALD工艺需求的显著增加,公司ALD设备可能获得更多客户的订单突破,据ASM Intl估计ALD市场规模约15亿美元,且未来成长性高。

(来自:杨绍辉/陈祥/陶波 半导体设备与材料