芯碁微装主导的直写光刻技术国家标准正式实施

芯碁微装主导的直写光刻技术国家标准正式实施

合肥芯碁微电子装备股份有限公司（以下简称：“芯碁微装”或“公司”）主导起草的直写光刻设备GB/T 43725-2024《直写成像式曝光设备》国家标准已通过国家标委会的审核，于2024年10月1日正式实施。

当前，直写光刻设备在PCB及泛半导体领域广泛应用和发展，成为一种新兴的微纳加工设备，但在微纳加工产业装备产业中缺乏直写光刻设备的国家标准。直写光刻技术具备显著优势，诸如数字化掩模设计，无需传统掩模版，降低生产成本；简化工艺流程，大幅缩减生产周期；通过减少工艺步骤提高产品良率；并且易于实现智能化管控，为构建全自动无人工厂提供有力支持。

面对当前PCB及IC封装载板直写曝光设备市场的蓬勃兴起与技术日新月异的变化，本项国家标准旨在弥补行业标准空白，对设备的设计、制造、检测、安装维护、质量检测与保证等全生命周期环节设定统一、科学的技术规则，从而为行业构建一套完备的体系标准。

（来自：芯碁微装）