中科飞测：三款重点设备现新进展

中科飞测：三款重点设备现新进展

9月26日，深圳中科飞测科技股份有限公司（以下简称：“中科飞测”）董事长、总经理陈鲁表示“今年上半年，公司进一步加大了新产品及现有产品向更前沿工艺迭代升级等方面的研发投入，特别是三款重点设备将在今年下半年有一些新进展。” 

　　陈鲁详细介绍道，三款重点设备中，明场纳米图形晶圆缺陷检测设备已有小批量出货，出货的客户覆盖了国内头部多种类型的客户，目前在客户端的测试反馈进展比较顺利，今年下半年将进一步开展工艺测试和验证工作。

　　暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备在今年上半年也实现了设备出货，因为在无图形晶圆缺陷检测设备领域长期的技术积累和技术优势，公司出货的设备成熟度较高，未来的进展预计会比较顺利；

　　光学关键尺寸设备目前在客户端验证的结果也很好，各项性能指标都能基本满足客户的要求，正在为交付给客户的量产部门做相应的测试工作。

《科创板日报》记者注意到，伴随中科飞测新产品进展与现有设备工艺迭代，该公司研发投入快速增长。数据显示，中科飞测今年上半年研发投入2.07亿元，同比增长114.22%，研发投入占营收比例44.66%，同比增加18.20个百分点。

（来自： 科创板日报）