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中国电子专用设备工业协会
华海清科：首台12英寸低温离子注入机成功出机
7月14日，华海清科股份有限公司（简称：华海清科）全资子公司芯嵛半导体自主研发的首台12英寸低温离子注入机iPUMA-LT正式发往国内逻辑芯片龙头厂商，标志着该公司完成大束流离子注入机全型号覆盖。该设备采用耐低温静电载盘及国产温控系统，工艺温度控制精度达国际主流水平，可显著提升芯片良率并支持先进制程研发。
作为集成电路制造关键设备，离子注入机长期依赖进口。iPUMA-LT通过低温物理效应抑制“隧道效应”，突破晶格修复难题，其大束流、高均匀性及精准角度控制特性已获多家客户验证。华海清科目前形成CMP、离子注入等装备矩阵，并布局中束流、高能机型，覆盖逻辑芯片、存储芯片等多领域需求。
（来自：华海清科）