中微公司：全球首台Primo Menova™12寸金属刻蚀设备成功交付

6月24日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（简称：中微公司）宣布，其自主研发的Primo Menova™12寸金属刻蚀设备全球首台机正式交付国内某重要集成电路制造服务商。该设备专注于金属刻蚀工艺，适用于功率半导体、存储器件及先进逻辑芯片制造，具备高刻蚀精度、低污染及高效除胶等优势，可满足客户高负荷生产需求。

中微公司等离子体刻蚀设备已广泛应用于国际一线客户5纳米至65纳米等先进制程生产线，覆盖国内95%以上刻蚀需求。2024年公司研发投入达24.5亿元，同比增长94.3%，加速推进二十余款新设备开发。公司表示将持续通过技术创新深化客户合作，助力半导体产业升级。

  （来自：中微公司）