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电科装备:按下复工“快进键”,离子注入机顺利交付客户

 

4月8日一早,由中电科电子装备集团有限公司(以下简称:“电科装备”)所属北京烁科中科信电子装备有限公司(以下简称:“烁科中科信”)研制的12吋中束流离子注入机顺利搬入华虹半导体(无锡)有限公司。

面对复工时间推迟、交付节点临近、交通物流严格管制、返程遇阻等一系列问题,烁科中科信一手抓抗击疫情、一手抓机台交付,按下复工“快进键”。

3月26日北京市科学技术奖励工作办公室公示北京烁科中科信电子装备有限公司牵头研发的大束流离子注入机

(来自:电科装备)