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中国电子专用设备工业协会
思锐智能：ALD设备P800成功交付头部客户
近日，青岛思锐智能科技股份有限公司(简称：思锐智能)自主研发的原子层沉积(ALD)设备P800成功交付国内某半导体制造头部企业。此次交付标志着思锐智能在ALD技术产业化应用上取得重大突破，进一步巩固了其在半导体核心装备领域的市场地位。该设备采用双腔结构设计，支持快速反应腔切换，可高效沉积多种薄膜材料，已获多家客户重复订单。
（来自：思锐智能）