邑文科技：首台12英寸CVD SPV 12D成功交付用户

2025年7月21日，无锡邑文微电子科技股份有限公司（简称：邑文科技）自主研发的首台12英寸化学气相沉积设备（SPV 12D）成功交付成都比亚迪半导体，标志着公司设备正式进入12英寸核心工艺领域。设备为双腔双片式作业，配置高速自动双手臂传送平台，通过EtherCAT实现高速通讯，并采用高低频RF等离子体系统，具有高集成化和多平台兼容性。支持车规级芯片制造关键工艺。  

（来自：邑文科技）