晶升股份：发布SCML320A系列8英寸碳化硅外延炉

近日，南京晶升装备股份有限公司（简称：晶升股份）成功推出新一代SCML320A系列水平式8英寸碳化硅外延炉，凭借生长速率≥60μm/h、膜厚均匀性＜1%、掺杂均匀性＜2%等核心指标，实现关键技术突破。

该设备基于公司多年技术积累，配备千级洁净工艺车间及高纯特气供应、尾气处理等完整配套系统，支持N/P双类型掺杂工艺，兼具稳定性和灵活性，可满足新能源汽车、光伏发电等领域对高质量碳化硅外延片的需求。

晶升股份表示，未来将持续加大研发投入，深化产业链合作，助力我国第三代半导体产业高质量发展。

（来自：晶升股份）