山东力冠：升级PVT设备，引领8～12英寸碳化硅晶圆高效量产

山东力冠：升级PVT设备，引领8～12英寸碳化硅晶圆高效量产

7月29日，山东力冠微电子装备有限公司（简称：山东力冠）宣布推出12英寸PVT电阻炉及8英寸多坩埚设备，旨在解决大尺寸碳化硅（SiC）晶圆在生长效率、均匀性及成本方面的行业难题，为规模化量产提供关键技术支撑。

设备升级亮点聚焦

12英寸PVT电阻炉一直指规模化量产痛点。1、产能跃升：单炉次生长效率提升达40%，显著加速12英寸SiC晶圆的产业化落地步伐。2、均匀性保障：集成先进多温区精准控制技术，有效确保晶格质量与厚度一致性，满足严苛的量产质量要求。

8英寸多坩埚方案—降本提效的关键引擎。1、效率倍增，成本锐减：采用3-5个坩埚同步生长，单次产出能力成倍提升，大幅摊薄晶锭的制造成本。2、智能精准控制：创新的硬件架构与自主研发的智能控制软件深度融合，实现高精度温度与真空压力动态调控。3、突破热场均匀性：独家多坩埚协同温场技术，系统性解决传统超大尺寸设备长期存在的热场分布不均问题。4、保障工艺稳定性：高度自动化控制系统最大限度减少人为干预，确保生产过程的高良率与批次一致性。

（来自：山东力冠）