中国电子专用设备工业协会2025年第一批团体标准立项计划项目

序号

项目名称

主要起草单位

参编单位

1

大马士革铜电镀设备技术规范

盛美半导体设备(上海)股份有限公司

苏州智程半导体科技股份有限公司

北京北方华创微电子装备有限公司

北京华丞电子有限公司

2

半导体光伏制造用原子层沉积设备

江苏微导纳米科技股份有限公司

北京北方华创真空技术有限公司

通威太阳能(成都)有限公司

无锡松煜科技有限公司

南京大学

北京华丞电子有限公司

3

12英寸双轴全自动单面晶圆减薄机

江苏京创先进电子科技有限公司

沈阳和研科技股份有限公司

苏州博宏源设备股份有限公司

苏州维嘉科技股份有限公司

精效悬浮(苏州)科技有限公司

深圳西斯特科技有限公司