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长江存储有哪些国产设备供应商

 

 

设备供应商

设备名称

数量(台)

1

北京北方华创微电子装备有限公司

刻蚀、清洗、退火、氧化炉、PVD

56

2

中微半导体设备(上海)股份有限公司

刻蚀

38

3

盛美半导体设备(上海)股份有限公司

清洗

18

4

上海精测半导体技术有限公司

量测

8

5

北京屹唐半导体科技有限公司

刻蚀、热处理、去胶

46

6

深圳中科飞测科技有限公司

形貌量测

3

7

睿励微电子设备(上海)有限公司

膜厚量测

2

8

沈阳拓荆科技有限公司

CVD

5

9

沈阳芯源微电子设备股份有限公司

涂胶显影、清洗

验证中

10

华海清科股份有限公司

CMP

11

11

上海至纯洁净系统科技股份有限公司

高纯工艺业务

 

 

(来自:半导体设备与材料)