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本土晶圆厂对美国设备的依赖度47%

本土晶圆厂对美国设备的依赖度47

根据中银杨绍辉团队发布《华为事件的不同视角——我国半导体设备对美国依赖度达47%,软件依赖度估计更高,从美对华为限制升级,看软件设备材料国产化迫切性》一文,我国12英寸本土晶圆厂对美国设备的依赖度达到47%(按台数计算),对美国依赖程度最大的工艺设备依次是镀铜设备、PVD、离子注入机、CMP、刻蚀设备、量测设备、CVD;而光刻机主要从荷兰ASML进口,清洗设备、热处理设备、Track主要从日本采购。

(来自:半导体设备与材料)