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上海微电子:张江高科投资国产光刻机企业上海微电子,持股10%

上海微电子:张江高科投资国产光刻机企业上海微电子,持股10%

工商信息显示,张江高科通过全资子公司张江浩成创业投资有限公司持有上海微电子装备(集团)股份有限公司(下称“上海微电子”)10.779%股权,为其第四大股东。

据悉,张江高科参与上海微电子装备的A轮融资,投资成本为2.23亿元。

目前,光刻机设备市场龙头集中,EUV光刻机被ASML垄断。全球光刻机出货量99%集中在ASML,尼康和佳能。其中ASML份额最高,达到67.3%。上海微电子是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业。

此前,上海微电子披露,将在2021-2022年交付第一台28nm工艺的国产沉浸式光刻机,国产光刻机从此前的90nm一举突破到28nm,极大地缩小与国际先进水平的差距。

(来自:投资界)