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四十五所:战新兴产业 创自主品牌

四十五所:战新兴产业 创自主品牌

日前,中国电子科技集团公司第四十五研究所(简称:四十五所)自主研制的自动化湿法设备在芜湖太赫兹工程中心运行良好。该中心作为安徽省重大新兴产业工程项目,是专门打造从材料生产到器件和模组加工制造为一体的公共研发平台。该中心生产线上,共有27台套自动化湿法设备在运行,用于未来5G通讯、新能源、大数据等产业急需的第三代半导体芯片制造过程中的晶圆清洗、金属腐蚀、光刻胶去除、多晶刻蚀等工艺。

(来自:四十五所)