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微导纳米:关键半导体装备国产化重大突破

微导纳米:关键半导体装备国产化重大突破

  江苏微导纳米科技股份有限公司(微导TM)(以下简称:“微导”)喜获来自某先进半导体芯片制造企业的首个订单,即将交付首台用于先进技术节点的原子层沉积(ALD)量产设备。该产品聚焦全球IC制造市场,为逻辑、存储等超大集成电路制造提供关键工艺技术和解决方案。尤其是在国内尖端半导体芯片制造方面,产品技术可覆盖45纳米到5纳米以下技术节点所必需的高介电常数栅氧层ALD工艺需求,填补了该领域无国产设备的空白。  

       微导副董事长兼首席技术官黎微明博士表示,微导推出的ALD设备面向全球市场,将改变长期以来半导体先进制程关键工艺被极少数装备制造商垄断的现状,为尖端半导体制造提供了更多选择,同时对国内的半导体产业链成长具有极大的意义。
江苏微导纳米科技股份有限公司(微导TM)(以下简称:“微导”)喜获来自某先进半导体芯片制造企业的首个订单,即将交付首台用于先进技术节点的原子层沉积(ALD)量产设备。该产品聚焦全球IC制造市场,为逻辑、存储等超大集成电路制造提供关键工艺技术和解决方案。尤其是在国内尖端半导体芯片制造方面,产品技术可覆盖45纳米到5纳米以下技术节点所必需的高介电常数栅氧层ALD工艺需求,填补了该领域无国产设备的空白。

微导还将推出一系列半导体领域ALD技术和装备,用于逻辑、存储、特色工艺、化合物半导体等芯片制造,力争成为ALD技术产业化的先行者与领导者。

(来自:微导