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2020年前三季度中国大陆主要半导体设备进口额增长38.2%

2020年前三季度中国大陆主要半导体设备进口额增长38.2%

2020年19月中国大陆13种主要半导体设备进口17930台、83.58亿美元,同比增长32.4%和38.2%。

其中:化学气相沉积设备、等离子体干法刻蚀机和分步重复光刻机进口额位居前三位,硅单晶炉和分步重复光刻机进口额增长一倍以上;研磨机和化学机械抛光机进口额降幅超过20%以上。

集成电路晶圆制造七项关键设备(化学气相沉积设备、等离子体干法刻蚀机、分步重复光刻机、氧化扩散炉、离子注入机、化学机械抛光机)2020年前三季度共进口73.95亿美元,同比增长41.7%。