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深圳纳设:成立2年 通过国家高新技术企业认定

深圳纳设:成立2年 通过国家高新技术企业认定

2020年12月,深圳市纳设智能装备有限公司(以下简称“深圳纳设”或“公司”)成功获得“国家高新技术企业”认定,正式成为国家重点支持的具有高成长性的企业。

深圳纳设成立于2018年10月,致力于第三代半导体、石墨烯等先进薄膜材料制造设备的研发制造及产业化推广。公司已成功开发:5台化学气相沉积设备,其中包含第三代半导体产业链里关键的碳化硅外延设备,通过独有的自主创新方案实现碳化硅外延设备产业化;国内首台开放式卷对卷化学气相沉积设备,可用于24小时连续不间断生产石墨烯、碳纳米管等先进薄膜材料;另有3台定制化科研级化学气相沉积设备交付至高校。公司在关键技术领域共申请专利22项,其中获得国际公开1项,获国内授权6项。

(来自:深圳纳设)