微导：首创PEALD技术在TOPCon电池转换效率已超过24%

微导：首创PEALD技术在TOPCon电池转换效率已超过24%

就在2020年末，江苏微导纳米有限公司（以下简称“微导”）n型TOPCon结构高效电池技术的推广也取得新的成果，ZR5000×2批量型等离子体增强ALD镀膜系统以及当前全球产能最大的KF10000S等一系列光伏装备，获得包括阿特斯、隆基、爱旭等多家重要光伏客户多个订单。

ZR5000×2批量型PEALD镀膜系统，集成PEALD与PECVD技术，对晶硅太阳能电池表面钝化膜和减反膜进行批量制备，可用于PERC高效电池技术及TOPCon等下一代电池技术的接触钝化。目前微导首创PEALD技术在TOPCon电池转换效率已超过24%，并有进一步的提升空间。为光伏产业后PERC时代的高效电池技术升级创造了必要的条件。

（来自：微导）