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微导:首创PEALD技术在TOPCon电池转换效率已超过24%

微导:首创PEALD技术在TOPCon电池转换效率已超过24%

就在2020年末,江苏微导纳米有限公司(以下简称“微导”)n型TOPCon结构高效电池技术的推广也取得新的成果,ZR5000×2批量型等离子体增强ALD镀膜系统以及当前全球产能最大的KF10000S等一系列光伏装备,获得包括阿特斯、隆基、爱旭等多家重要光伏客户多个订单。

ZR5000×2批量型PEALD镀膜系统,集成PEALD与PECVD技术,对晶硅太阳能电池表面钝化膜和减反膜进行批量制备,可用于PERC高效电池技术及TOPCon等下一代电池技术的接触钝化。目前微导首创PEALD技术在TOPCon电池转换效率已超过24%,并有进一步的提升空间。为光伏产业后PERC时代的高效电池技术升级创造了必要的条件。

(来自:微导)