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中国电子专用设备工业协会
烁科中科信:低能大束流离子注入机顺利通过科技成果鉴定
烁科中科信:低能大束流离子注入机顺利通过科技成果鉴定
11月19日,由中国电子科技集团公司组织,三位院士等专家组成的鉴定委员会上,
对北京烁科中科信电子装备有限公司(以下简称“烁科中科信”)研制的低能大束流离子注入机项目进行科技成果鉴定。经鉴定,低能大束流离子注入机项目在整机研制、关键部件技术以及先进工艺等方面取得重大技术创新,技术指标达到国际同类产品先进水平,在经济和社会效益方面成果显著,项目顺利通过科技成果鉴定。
(来自:电科装备)