烁科中科信：低能大束流离子注入机顺利通过科技成果鉴定

烁科中科信：低能大束流离子注入机顺利通过科技成果鉴定

11月19日，由中国电子科技集团公司组织，三位院士等专家组成的鉴定委员会上，

对北京烁科中科信电子装备有限公司（以下简称“烁科中科信”）研制的低能大束流离子注入机项目进行科技成果鉴定。经鉴定，低能大束流离子注入机项目在整机研制、关键部件技术以及先进工艺等方面取得重大技术创新，技术指标达到国际同类产品先进水平，在经济和社会效益方面成果显著，项目顺利通过科技成果鉴定。