洁净室机器人市场与半导体设备同步发展

洁净室机器人市场与半导体设备同步发展

自2015年以来,用于半导体制造设备的真空和大气机器人市场符合增长率11.7%,预计到2020年将超过10亿美元.洁净室机器人的发展历史以及未来的增长趋势与半导体制造设备的长期增长率是一致的.

然而,将数据分类为真空机器人和大气机器人来看,就会揭示出另一幅画面.从2015年到2020年,真空机器人销售额的复合增长率仅为6.5% 。真空机器人强劲增长的部分原因是半导体制造业中真空强度需求增加。

真空工艺步骤是真空和大气机器人需求增长的驱动因素，它提高了真空机器人占总机器人的比例。此外，真空机器人市场由一家供应商主导，因此价格往往比较稳定。相比之下，大气机器人的市场由几家大型供应商组成，这使得市场竞争非常激烈，产品价格面临竞争压力。

40%的洁净室机器人被用于蚀刻工具，36%用于沉积，24%用于其他类型的工具，36%用于沉积，24%用于其他类型的工具，如光刻、离子注入、CMP、过程诊断和湿法工艺。

供应商大多来自北美（47%）和日本（44%）。欧洲和韩国制造商供应了其余的9%的市场份额

（来自：SEMI）