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睿励:引入中微新一轮1亿元战略投资

睿励:引入中微新一轮1亿元战略投资

近日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微”)完成对睿励科学仪器(上海)有限公司(以下简称“睿励”)1亿元人民币增资。

睿励致力于集成电路生产前道工艺检测领域设备研发和生产,其主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备以及硅片厚度及翘曲测量设备等。睿励自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列产品,已应用在65/55/40/28纳米芯片生产线,在3D存储芯片产线支持64层3DNAND芯片的生产。睿励应用于LED蓝宝石衬底图形检测的自动光学检测设备,也已成功销售到众多国内LEDPSS衬底和LED芯片生产线。

(来自:浦东科创集团)