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12英寸集成电路晶圆生产线配套工艺设备

12英寸集成电路晶圆生产线配套工艺设备

以中芯国际位于天津的T3 12英寸、月产1万片的集成电路晶圆生产线项目为例:

设备名称

数量(台)

设备名称

数量(台)

设备名称

数量(台)

扩散炉

22

CVD

42

涂胶去胶机

15

光刻机

8

刻蚀机

25

离子注入机

13

PVD

24

研磨抛光机

12

清洗机

17

检测设备

50

测试设备

33

其他设备

17

(来自:集成电路前沿