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盛美:首台清洗设备入驻芯物科技

盛美:首台清洗设备入驻芯物科技

6月7日,盛美半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“盛美”)首台清洗设备入驻上海芯物科技有限公司12吋中试生产线。

盛美本次进驻芯物科技的设备为前道刷洗设备,该设备采用单片墙体对晶圆正背面依工序清洗,科进行包括晶圆背面刷洗、晶圆边缘刷洗、正背面二流体清洗等清洗工艺。设备占地面积小,产能高,稳定性强,多种清洗方式灵活可选,且可用于芯片制造的中前段至后段各道刷洗工艺。

据国家智能传感器创新中心负责人介绍,12吋先进传感器特色工艺研发中试平台超过80%的设备均采用国产设备,为国产设备提供验证平台,加速传感器产业链国产化,实现自主可控。

(来自:盛美)