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至纯科技:28nm湿法工艺设备完成认证,明年进军14/7nm

至纯科技:28nm湿法工艺设备完成认证,明年进军14/7nm

近日,上海至纯洁净系统科技股份有限公司(以下简称:“至纯科技”)在互动平台表示,目前至纯科技28nm节点全部湿法工艺设备已认证完毕。

除了28nm工艺节点之外,上海证券报的报道中还指出,至纯科技14nm及7nm工艺预计2022年可供客户验证。

财报显示,至纯科技2020年湿法设备出货量超过30台,新增订单5.3亿元,增长211.8%。

(来自:半导体材料与工艺设备