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上海精测:国内首台 独立式OCD设备与晶圆缺陷复查设备顺利出机

上海精测:国内首台独立式OCD设备与晶圆缺陷复查设备顺利出机

7月13日,上海精测半导体技术有限公司(以下简称:“上海精测”)研制的国内首台12寸独立式光学线宽测量设备(OCD)与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)顺利出机中芯国际。

12寸独立式光学线宽测量机台(OCD)是该类型的国内首台机台,主要用于45nm以下、特别是28nm平面CMOS工艺的量测,并可以延伸支持上述先进工艺节点的快速线宽测量。EPROFILE 300FD测量系统拥有完全自主知识产权,包括宽谱全穆勒椭偏测头、对焦对位系统、系统软件等核心零部件均为自主研发,是真正意义上的高端国产化机台。

12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)是上海精测的另一项主力产品。公司从底层开发做起,扫描电子显微镜、配套扫描成像电路等关键核心部件均为自主设计,自主知识产权,并用了近两年的时间打通了电子显微镜核心零部件加工的国产化供应链。此次出厂的机台配备了基于深度学习的高准确率智能化自动缺陷检测与分类算法,将进一步帮助客户提升缺陷复查分析的效率并显著提升设备使用的便捷性。

(来自:上海精测)