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华海清科:步入高速成长,主导CMP设备国产化

华海清科:步入高速成长,主导CMP设备国产化

华海清科科技股份有限公司(以下简称:“华海清科”或“公司”)产品已进入国内先进集成电路主流产线,在手订单充裕。截至 2020 年 12 月 31 日,公司 的CMP 设备已累计出货 58台,在手订单 35台,设备已广泛应用于于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储等国内先进IC大产线中。公司研制、生产的具有完全自主知识产权的 CMP 设备在逻辑芯片制造、3D NAND 制造、DRAM 制造等领域的工艺技术水平已分别突破至 14nm、128 层、1X/1Ynm ,达到国内大生产线的最高水平和全球的先进水平。

公司在大陆地区CMP的市占率达到13%,在部分本土产线的份额超过20%。据 SEMI统计,公司在中国大陆地区的CMP设备市场占有率2018-2020年分别是1.05%、6.12% 和12.64%。根据国际招标网数据统计,公司在部分本土产线的份额位于20%-30%。

(来自:半导体设备与材料)