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北方华创:再获北京市科学技术进步奖一等奖

北方华创:再获北京市科学技术进步奖一等奖

近日,2020年度北京市科学技术奖获奖名单正式发布。北京北方华创微电子装备有限公司(以下简称“北方华创”)的“12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机研发及产业化项目”,经层层评选,喜获北京市科学技术进步奖一等奖。

“12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机研发及产业化项目”是由北京北方华创微电子装备有限公司、上海集成电路研发中心有限公司、中科院微电子研究所共同完成的集成电路技术领域的科研成果。目前,12英寸先进集成电路制程电感耦合等离子刻蚀机,已通过主流芯片生产线的工艺和量产验证,并实现批量销售。

(来自:北方华创)