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2021年前三季度13类主要半导体设备进口情况

2021年前三季度13类主要半导体设备进口情况

据海关信息网公布,2021年前三季度13类主要半导体设备进口33942台、126.65亿美元,同比分别增长86.2%和32.8%。其中:等离子体干法刻蚀机和化学气相沉积设备二类设备进口额达到65.4亿美元占13半导体设备进口总额的51.6%

2021年19月13类主要半导体设备进口数据表

设备名称

进口量(台)

进口金额(万美元)

2021年         1-9

同比增长%

2021年                     1-9

同比增长%

1

等离子体干法刻蚀机

1451

13.2%

331407.14

10.6%

2

化学气相沉积设备

1480

63.0%

322602.37

68.3%

3

氧化扩散炉

1466

37.7%

147462.38

53.2%

4

引线键合机

22911

100.9%

110818.43

140.7%

5

分步重复光刻机

297

64.1%

74160.93

-54.7%

6

物理气相沉积设备

524

33.0%

72854.94

92.9%

7

离子注入机

288

65.5%

45728.07

44.7%

8

化学机械抛光机

299

118.2%

41695.17

76.0%

9

集成电路工厂专用自动搬运机器人

2988

99.5%

32006.63

138.0%

10

研磨机

444

112.4%

23717.60

121.4%

11

切割设备

1400

90.7%

23837.41

85.2%

12

塑封压机

305

69.4%

13308.25

152.7%

13

硅单晶炉

89

34.8%

6502.05

-13.3%

 

合   计

33942

86.2%

1266561.45

32.8%