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中微、盛美、北方华创、华海清科、拓荆、屹唐等半导体设备制造商 是12英寸集成电路生产线设备国产化的关键推动者

中微、盛美、北方华创、华海清科、拓荆、屹唐等半导体设备制造商

是12集成电路生产线设备国产化的关键推动者

据中国国际招标网数据统计,长江存储、华虹无锡、合肥晶合、上海华力二期四个12英寸集成电路生产线的工艺设备国产化平均水平接近13%

清洗设备:4项目共采购接近400台清洗设备,盛美半导体的市场份额仅次于DNS,是12英寸清洗设备国产化的主导者,占据90%以上的国产清洗设备。

镀铜:4项目共采购近30台镀铜设备,按中标数量对供应商排序依次是Lam和盛美。

CMP:4项目共采购170多台CMP设备,华海清科是仅次于AMAT的第二大CMP供应商。

PVD:4项目共累计采购的100多台PVD设备。北方华创在部分12英寸产线的PVD设备中占比超过20%,是仅次于AMAT的第二大PVD供应商。

刻蚀:4项目共采购的600多台刻蚀设备,中微、北方华创、屹唐三家合计实现刻蚀设备国产化率超20%。中微、北方华创、屹唐市占率合计占比超20%。其中中微在部分12英寸产线上的CCP刻蚀的订单份额达到35%左右。

热处理:4项目共采购的500多台热处理设备,北方华创、屹唐共实现热处理设备国产化率近23%,北方华创贡献80-90%的国产热处理设备。

CVD:4项目共采购的900多台CVD设备,拓荆专注于PECVD、ALD、SACVD等,国产化率不足5%。

去胶机:4项目共计采购接近140台去胶设备,屹唐在国内去胶设备市场份额排名第一。

(来自:原创 杨绍辉 陶波半导体设备与材料)