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国家五部门关于调整重大技术装备进口税收政策有关目录的通知

国家五部门关于调整重大技术装备进口税收政策有关目录的通知

2021年12月10日,工业和信息化部、财政部、海关总署、国家税务总局、国家能源局联合发出关于调整重大技术装备进口税收政策有关目录的通知工信部联重装〔2021〕198号),对重大技术装备进口税收政策有关目录进行了修订

通知指出《国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2021年版)》、《重大技术装备和产品进口关键零部件、原材料商品目录(2021年版)》和《进口不予免税的重大技术装备和产品目录(2021年版)》自2022年1月1日起执行。

在《国家支持发展的重大技术装备和产品目录(2021年版)》目录中,(十五)电子信息设备目录要求如下(销售业绩要求持有合同订单):

1

半导体发光二极管生产设备(部件免税执行年限2022年)

编号

设备类型

技术规格要求

(1

金属有机化学气相沉积设备

可配置单片6英寸或8英寸四腔系统, 可改造升级8×6英寸多片四腔系统; 外延厚度和材料组成均匀性STD≤ 1%; 电子迁移率≥1900cm 2 /Vs

(2

高亮度LED步进投影光刻 机

分辨率:0.7~2μm; 适应2~6英寸多种基底的曝光; 可监测基底翘曲值; 多种背面对准配置

2

集成电路关键设备集成电路自动化测试及分选设备、化学机械抛光机部件执行年限到2023年,其余设备部件免税年限到2022年)

(1

氧化炉

硅片直径:300mm;线宽≤28nm

(2

高密度等离子刻蚀机

硅片直径:300mm; 线宽≤55nm

(3

薄膜沉积设备:化学气相 沉积设备、物理气相沉积 设备和原子层沉积设备

硅片直径:300mm; 线宽≤28nm

(4

涂胶显影机

硅片直径:300mm; 线宽≤28nm

(5

快速热退火设备

硅片直径:300mm; 线宽≤28nm

(6

湿法清洗机

硅片直径:300mm; 线宽≤28nm

(7)

晶圆缺陷自动检测设备

可用于300mm晶圆;

镜头倍率:1X、2X、3.5X、5X、10X、20X

(8)

离子注入机

硅片直径:300mm; 线宽≤28nm

(9)

集成电路自动化测试及分选设备

数字信号通道≥1024; 最高测试速率≥200Mbps; 电源信号通道≥128; 继电器控制信号通道≥256; 生产效率≥9000片/小时;Jam≤1/5000; 可搭配模拟模块、射频模块、高压模 块、图像处理模块等处理不同信号类 型的模块,以及机器视觉检测模块、 多种不同进料出料模块

(10)

前道铜互连电镀设备

应用于45nm至14nm铜互连电镀工艺

(11)

化学机械抛光机

硅片直径:300mm; 线宽≤28nm

(12)

先进封装电镀设备

应用于先进封装电镀工艺

3

电子元器件生产设备(部件免税执行年限2022年)

(1

片式多层陶瓷电容器丝网印刷机

印刷速度≥5m/min; 印刷宽度:150~600mm; 印刷直线度≤0.1mm; 印刷间距波动范围≤0.2mm; 电极厚度范围:0.6~1.5μm; 收卷整齐度≤0.5mm; 有张力控制系统、边缘纠偏系统、数 据采集系统

(2

片式多层陶瓷电容器自动 分选机

处理电容尺寸:0201至1206; 最大处理能力≥12000只/分钟

(3

低温共烧陶瓷光刻工艺硬 质玻纤板印刷生产线

玻纤板正面尺寸≥160mm×160mm, 厚度≤2.0mm; 涂刮机构全程采用电机调整水平,调 整步距≤0.01mm; 印刷工作台表面与网框底面的平行度 ≤30μm; 印刷工作台表面与印刷头的平行度≤ 30μm; 生产效率≥15秒/片; 视觉辅助对位精度≤3μm; 膜厚极差:±3μm

在《进口不予免税的重大技术装备和产品目录(2021年版)》中,(十五)电子信息设备目录要求如下

编号

设备名称

技术规格要求

税则号列       (供参考)

1

点胶机

直线运动加速度≤800m/s2

84798969

2

点胶头

单点速度≤400点/秒

84799090

3

喷胶机

硅片直径:50~300mm; 胶膜厚度:1~20μm; 均匀性低于±10%

84862090

4

涂胶显影机

硅片直径:50~300mm

84862090

5

原子层沉积设备

膜厚均匀性≥5%; 沉积速率≤3.2nm/s

84862021

6

触摸屏面板贴合装置  

可实现0~90°的3d贴合并预留90~180°的扩展能力; 柔性贴合精度低于±100μm;3d贴合精度低于±150μm

84863090

7

等离子体增强化学气相沉积设备

直径<300mm且线宽>28nm

84862021

8

等离子去胶机

线宽≥28nm

84862090

9

等离子刻蚀机

线宽≥28nm

84862041

来自:工业和信息化部)