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至纯科技:湿法设备正有序开展供应链的本地化

至纯科技:湿法设备正有序开展供应链的本地化 

近日,上海至纯洁净系统科技股份有限公司(简称“至纯科技”)在互动平台上表示,公司致力打造高端湿法设备制造开发平台,公司的湿法设备历经IP自主、供应链自主研发,在国内湿法设备制造基地制造,正有序开展供应链的本地化。

至纯科技指出,2021年整体新增订单已超过2020年全年水平,其中湿法部门的目前订单已经超过8亿,新增单片式设备订单在价值量上超过一半,订量保持充足,产能充分利用。截至2021年三季报报告期,至纯科技湿法部门已经完成4.52亿的营收,清洗设备占到晶圆厂的总投资额的8%-10%,随着制程每前进一个世代,清洗设备的需求会增加20%-30%。现在已经获得28nm全系列认证通过(包括湿法刻蚀、去胶、清洗、刷洗等工艺),已经切入国内龙头用户的高阶工艺应用,完全覆盖多个细分领域的市场需求。

(来自:爱集微)