电科装备：海外首台中束流离子注入机顺利验收

电科装备：海外首台中束流离子注入机顺利验收

近日，中电科电子装备集团有限公司（简称：“电科装备”）和北京烁科中科信电子装备有限公司（简称：烁科中科信）海外首台中束流离子注入机在用户单位顺利通过验收。2019年2月，电科装备48所和烁科中科信联合作战，成功与海外某大型企业集团旗下半导体制造企业，签订中束流离子注入机设备出口合同，实现中束流离子注入机在海外半导体市场销售首单。由于疫情原因，终于在2021成功完成调试，并于近日在用户单位顺利通过验收。