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电科装备:海外首台中束流离子注入机顺利验收

电科装备:海外首台中束流离子注入机顺利验收

近日,中电科电子装备集团有限公司(简称:“电科装备”)和北京烁科中科信电子装备有限公司(简称:烁科中科信)海外首台中束流离子注入机在用户单位顺利通过验收。2019年2月,电科装备48所和烁科中科信联合作战,成功与海外某大型企业集团旗下半导体制造企业,签订中束流离子注入机设备出口合同,实现中束流离子注入机在海外半导体市场销售首单。由于疫情原因,终于在2021成功完成调试,并于近日在用户单位顺利通过验收。

(来自:电科装备)