盛美上海：推出新型化合物半导体系列设备加强湿法工艺产品线

盛美上海：推出新型化合物半导体系列设备加强湿法工艺产品线

盛美半导体设备(上海)股份有限公司（简称“盛美上海”）近日推出了支持化合物半导体制造的综合设备系列。盛美的150~200 毫米兼容系统将前道集成电路湿法系列产品、后道先进晶圆级封装湿法系列产品进行拓展，可支持化合物半导体领域的应用，包括砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN) 和碳化硅(SiC) 等工艺。化合物半导体湿法工艺产品线包括涂胶设备、显影设备、光阻去胶设备、湿法蚀刻设备、清洗设备和金属电镀设备，并自动兼容平边或缺口晶圆。

“随着不同市场的需求增长，化合物半导体行业正在迅猛发展。” 盛美上海董事长 王晖博士表示，“通过对这个行业的调研，我们意识到，应利用现有的前道集成电路湿法和后道先进晶圆级封装湿法系列产品中重要的专业知识和技术，来提供满足化合物半导体技术要求的高性价比、高性能产品。我们认为，化合物半导体设备市场为 盛美上海提供了重要的增长机会，因为GaAs、GaN 和SiC 器件正成为未来电动汽车、5G 通信系统和人工智能解决方案日益不可或缺的一部分。”

（来自：盛美上海）