上海精测：国内首台明场检测设备将于今年10月出机

上海精测：国内首台明场检测设备将于今年10月出机

上海精测半导体技术有限公司（以下简称“上海精测”）控股子公司上海精积微半导体技术有限公司，于近日斩获两台明场检测BFI100型设备订单。该型号设备主要用于65nm-180nm的半导体产线制程监控。首台设备将于今年10月出机。

明场检测设备一般用于有图形晶圆的缺陷检测，它通过高质量的光学成像检测尺寸远小于光学衍射极限的缺陷，对光学镜头加工与安装精度、运动控制精度、照明光源亮度、抑制图像采集噪声、数据处理能力等都有极高的要求，往往接近同等工艺节点光刻机的苛刻技术要求。相比之下，暗场检测设备通过探测缺陷的光散射信号实现检测，较易获得足够的信噪比，其技术难度与系统复杂程度小于明场设备，因此明场设备往往比同产线上暗场设备价格高出许多。作为半导体前道检测必备的主设备，明场检测的核心技术一直被国外几家公司垄断，此次BFI100作为国内首个量产型号的明场检测设备，将有助于客户在该领域获得更高性价比的设备选型与应用服务。

（来自：上海精测）