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中晟光电:深紫外 MOCVD 设备获重大技术突破

中晟光电:深紫外MOCVD 设备获重大技术突破

中晟光电设备(上海)股份有限公司(以下简称中晟光电)早在2016-2017 年就与杰生半导体共同开发和产业化了首台国产深紫外MOCVD 设备,ProMaxy® UV。

随着深紫外LED 应用的不断推广,对功率转化效率,良品率,及生产成本等提出了更高的要 求。针对深紫外LED 外延生长AlN(铝氮)的材料晶体质量,表面形貌特征,及裂纹控制,对提 高功率转化效率和良品率具有重大的影响,中晟光电在ProMaxy® UV 自主创新的核心技术的基 础上,对反应腔的温场控制,反应气体的传输及均匀分布等技术进行了进一步创新和优化,建立 了既可外延生产高质量的AlN 基板,又能扩大产能(至少15x2),降低生产成本新的MOCVD 核心技术。为进一步降低设备成本和提高产能,中晟光电又推出了可配置4 个反应腔的 ProMaxy® UV 的机型。该机型既可每腔独立外延生产深紫外LED 全结构,也能分腔集成外延生 产AlN 基板和LED 结构。

目前国内多家客户均已采 用了中晟光电新的MOCVD 技术,获得了高质量、低成本的AlN 基板,如表面特征Rq<0.5nm。边缘裂纹控制在<2mm。

中晟光电ProMaxy® UV 产品及新技术的突破获得国内客户和市场的认可,已成为2020 年以 来深紫外LED 产能扩充和技术研发的主要机型,并获得了上海市高新技术成功转化项目证书。

(来自:中晟光电)