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国产光刻机迈出重要一步

国产光刻机迈出重要一步

目前全球最顶级的光刻机是EUV极紫外光源,它的生产制造能力掌握在荷兰ASML公司手中。短时间内国产光刻机还达不到这样的成就,但国产光刻机也在不断传来好消息。

这一次国产光刻机在曝光光学系统上迈出重要一步。消息事件的主角是北京国望光学科技有限公司,国望光学在光刻机产业链的定位是物镜系统供应商,这次展开的曝光光学系统研发及生产建设项目,可以说是让国产光刻机迈出了重要一步。因为国望光学这一生产建设项目的布局规划几乎涉及到从成熟工艺到先进工艺的覆盖,满足350/280nm 节点到28nm工艺节点及以下的光刻机曝光光学系统产品IDM模式能力,实现集设计研发,生产制造和供货交付的能力。

顶级光刻机有10万个零部件,但光刻机最主要的四大件才是重中之重的关键,包括双工件台、光学系统、控制软件、物镜系统。这四大件当中国内都有各自的供应商巨头传来好消息,双工件台可以由华卓精科负责,科益虹源负责光源系统,国望光学参与物镜系统的打造,至于控制软件还有待完善产业链。

(来自:华富论