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烁科精微:CMP作为首台设备Move in中芯国际FAB7 T3

烁科精微:CMP作为首台设备Move in中芯国际FAB7 T3

日前,北京烁科精微电子装备有限公司(以下简称“烁科精微”或公司)研制的化学机械抛光机(CMP),作为中芯国际FAB7 T3首台设备,顺利Move in。这是中芯国际首次选择国产设备作为首台设备Move in,意味着国产CMP设备的性能和品质已达到国外同类先进水平,国产替代步伐进一步提速。从2017年11月至今,烁科精微CMP出货量已经超过100台。

(来自:芯思想)