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果纳:国产首台8LP双天车系统SORTER成功通过客户认证

果纳:国产首台8LP双天车系统SORTER成功通过客户认证

3月28日,由上海果纳半导体设备有限公司(以下简称:“果纳”)自主研发生产的国产首台8LP双天车系统的sorter(晶圆传输设备),取得终端客户认证,在实现国产化的道路上再次获得突破。果纳作为国内半导体传输设备制造的新锐企业,在“2022最值得关注的女性创业者”之一的创始人叶莹女士的布局发展下,历经1年多的发展,陆续获得国内多家知名半导体设备及制造企业的认可,代表着芯片行业国产自动化设备取得长足的进展。

由果纳自主研发的GN208型8 Loadport SORTER是用于12寸大硅片厂出货前的分选工序,其配备了8套晶圆承载系统,分设备两侧对称安装,可实现两侧同时对接天车。GN208设备结构布局紧凑,占地面积小,分选效率高,有效提高了客户厂房厂务的利用率。

同时,果纳GN208 SORTER机台在设计上采用了恒压微环境的设计概念,使设备内部的晶圆传送区域始终保持较高洁净度等级。该设备仅用了1个月的时间通过了50nm和28nm的particle、edge metal连续测试。

果纳积极布局半导体传输设备领域,目前在技术上可完全取代同类型进口设备,打破同类型设备被国外垄断的局面,为推动集成电路设备产业链的国产化贡献力量。

(来自:果纳)