搜索

京ICP备13007692号-1

微信二维码

地址:北京市复兴路49号

电话:010-688 60519

传真:010-688 65302

邮箱:bgs@cepea.com

中国本土半导体清洗设备厂商崛起

中国本土半导体清洗设备厂商崛起

清洗设备约占半导体设备市场总规模的5%。2021年,清洗设备市场增长迅速,市场规模达到42亿美元,预计2022年将达到47亿美元。

长期以来,全球清洗设备市场都被迪恩士(SCREEN)、TEL、LAM与细美事(SEMES,三星子公司)把持着,这四家公司合计市场占有率达到90%以上,其中,迪恩士市场份额最高,超过50%。多年来,迪恩士开发出了适于多种环境的各类清洗设备,并在清洗工艺的三个主要领域均获得第一的市场占有率。

迪恩士认为,清洗设备的未来发展集中在三个方面:一是晶圆代工厂和逻辑芯片厂不断布局更小工艺节点时的产线扩张,重点为高清洗精度单晶圆清洗设备;二是3D结构存储芯片,重点为高产能单晶圆清洗设备和高清洗精度自动清洗台;三是重视中国市场,这将是未来半导体世界的主场。

中国半导体市场广大,清洗设备在这里有很好的发展前景。虽然国际半导体设备巨头占据着大部分市场份额,中国本土厂商也有很好的表现。

目前,有三家国内厂商可以提供中高端湿法清洗设备,分别是至纯科技、北方华创和盛美,且国内厂商的市场占比还在逐年上升中。相比于其它半导体设备,清洗设备的技术门槛较低,未来5年有望率先实现全面国产化。

产品方面,本土企业也是各有所长。盛美上海的单片清洗设备、全自动槽式清洗设备、单片槽式组合清洗设备、TEBO兆声波清洗设备很有特色,截至2021年10月,该公司湿法设备交付2000腔,累计出货超过300台;北方华创主要生产单片清洗设备、全自动槽式清洗设备;至纯科技擅长单片清洗设备和槽式清洗设备,该公司单片式湿法设备为旋转喷淋Spin-Spray 类型,对标迪恩士、LAM等企业,截至2021年第三季度,至纯科技湿法设备累计交付超过100台,客户涵盖中芯宁波、中芯绍兴、中芯天津、华为、燕东微电子、上海集成电路研发中心、力积电等;芯源微也是国内正在崛起的一家半导体设备企业,该公司的单片清洗设备、全自动SCRUBBER清洗设备很有特色。

中国清洗设备厂商的崛起为本土晶圆厂提供了更多的支持,数据显示,国内主要芯片制造厂,如长江存储、华力集成、华虹等,正越来越多地采用本土厂商生产的清洗设备。

 (来自:半导体产业纵横 ,作者畅秋)