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万业企业:旗下薄膜沉积设备成功中标上海积塔特色工艺项目

万业企业:旗下薄膜沉积设备成功中标上海积塔特色工艺项目

 7月29日,据上海积塔半导体设备中标结果公告显示,上海万业企业股份有限公司(简称“万业企业”)旗下嘉芯迦能公司成功中标上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线建设项目7台薄膜沉积设备,包括6台高密度等离子薄膜沉积设备(HDP-CVD)和1台二氧化硅等离子薄膜沉积设备(PECVD)。

今年上半年,万业企业及控股子公司累计新增集成电路设备订单超7.5亿元,集成电路专用设备制造业务收入较上年同期增加约150%,旗下低能大束流离子及高能注入机顺利完成客户交付,多家客户新签设备采购订单等因素影响。

(来自:集微网)