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北方华创:发布全新产品NMC508RIE介质刻蚀机

北方华创发布全新产品NMC508RIE介质刻蚀机

8月12日,北方华创科技集团股份有限公司(简称“北方华创”)NMC508RIE介质刻蚀机新产品发布会在北京亦庄总部顺利举行。这是北方华创首次以8吋设备整体解决方案的视角,全方位、多维度地展现NAURA在CCP介质刻蚀领域实行的创新突破。

        NMC508RIE介质刻蚀机正是采用了最新的装备技术应用到8吋设备上,专为新工艺需求定制,开发出同时兼容到6吋的全新多频解耦CCP介质刻蚀设备,不仅具备刻蚀速率高、均一性好、工艺窗口大等特点,且系统稳定性高、维护成本低。

(来自:北方华创)