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2022年上半年13类主要半导体设备进口情况

2022年上半年13类主要半导体设备进口情况

7月20日,海关统计数据在线查询平台公布了2022年上半年13类主要半导体设备进口17804台,同比减少15.4%,进口金额84.17亿美元,同比减少2.3%。

上半年,化学气相沉积设备(CVD)和等离子体干法刻蚀机进口额仍然是进口额最大的二类集成电路制造设备,占13类主要半导体设备总额的46.6%。

上半年,硅单晶炉进口额增长最快(156%),离子注入机、化学机械抛光机和分步重复光刻机进口额增长率都超过30%以上。上半年,从荷兰进口的分步重复光刻机进口额同比增长49.7%,占进口总额的78.38%,

2022年1月~6月13类主要半导体设备中国大陆,进口数据表

排序

税则号

8486

设备名称

进口量(台)

进口金额(万美元)

2022年1-6

同比增长%

2022

1-6

同比增长%

1

2021

化学气相沉积设备(CVD)

864

-21.4%

198,872.44

-13.6%

2

2041

等离子体干法刻蚀机

785

-19.0%

193,327.61

-17.6%

3

2010

氧化、扩散、退火及其它热处理炉

909

-4.7%

93,825.21

-5.7%

4

2031

分步重复光刻机

140

-35.5%

81,247.82

32.4%

5

4022

引线键合机

9629

-31.5%

59,845.16

-7.1%

6

2050

离子注入机

225

43.3%

56,388.19

49.6%

7

2022

物理气相沉积设备(PVD)

375

11.6%

53,029.46

17.6%

8

1040

化学机械抛光机(CMP)

228

23.2%

32,878.68

33.0%

9

4031

集成电路工厂专用自动搬运机器人

3265

106.8%

24,985.70

4.7%

10

1020

研磨机

528

105.4%

19,017.63

23.1%

11

1030

切割设备

642

-34.0%

14,138.88

-3.1%

12

1010

硅单晶炉

81

32.8%

7,286.47

156.0%

13

4021

塑封压机

133

-28.5%

6,902.16

-5.8%

 

 

总   计

17804

-15.4%

841,745.41

-2.3%

202216化学气相沉积设备进口发货地情况表

 

新加坡

韩国

美国

日本

马来西亚

其它

数量(台)

195

112

239

143

50

125

进口额  (万美元)

81354.0

35111.4

25086.8

23165.5

15129.8

19024.9

202216化学气相沉积设备进口收货地情况表

 

江苏省

安徽省

上海市

北京市

湖北省

其他

数量(台)

321

103

88

52

51

249

进口额  (万美元)

50098.6

33390.1

20108.7

19458.1

17957.3

57859.7

202216等离子体干法刻蚀机发货地情况表

 

日本

美国

马来西亚

中国台湾

韩国

其它

数量(台)

169

286

54

86

87

103

进口额  (万美元)

51109.4

39350.9

37748.0

24694.0

23063.8

17361.5

202216等离子体干法刻蚀机进口收货地情况表

 

江苏省

北京市

上海市

安徽省

湖北省

其他

数量(台)

291

64

88

64

88

190

进口额  (万美元)

43481.7

29302.1

27276.8

24707.1

17180.1

51379.6

202216氧化扩散炉发货地情况表

 

日本

美国

新加坡

德国

韩国

其它

数量(台)

521

144

52

46

53

93

进口额  (万美元)

49249.7

27642.1

9783.3

4283.6

1610.5

1256.1

202216氧化扩散炉收货地情况表

 

安徽省

北京市

江苏省

上海市

浙江省

其它

数量(台)

137

136

216

107

103

210

进口额  (万美元)

22465.1

17232.7

13509.2

10336.0

7263.9

23018.3

202216分步重复光刻机发货地情况表

 

荷兰

日本

美国

韩国

德国

其它

数量(台)

42

78

7

2

3

8

进口额  (万美元)

63683.0

16658.2

657.2

128.2

71.8

49.43

202216分步重复光刻机收货地情况表

 

安徽省

江苏省

山东省

广东省

浙江省

其它

数量(台)

13

69

3

5

7

43

进口额  (万美元)

36397.1

27209.4

4272.5

3100.5

2551.6

7716.9

(数据来自海关统计数据在线查询平台)