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晶州装备:国内首台TOPCon 用6篮碱抛刻蚀清洗设备成功下线

晶州装备:国内首台TOPCon 用6篮碱抛刻蚀清洗设备成功下线

近日,由苏州晶洲装备科技有限公司(简称:晶洲装备)自主研发、生产的国内首台量产型单槽6花篮大产能碱抛刻蚀清洗设备在晶洲智能装备生产基地成功下线,该设备适用于TOPCon和PERC电池的湿法碱抛工艺,顺利发往客户端。

本次晶洲装备下线的碱抛刻蚀清洗设备采用单槽6花篮设计,每小时产能14400片,极大改善了链式去BSG或PSG+碱抛设备工序的产能瓶颈;该设备采用多项晶洲自主研发的独创设计,在提升设备产能的同时,降低设备单耗、能耗,提升设备工艺稳定性。

晶洲装备是中国高端湿制程装备及工艺技术综合解决方案提供商,业务涉及太阳能光伏、平板显示、半导体等多个领域。2021年,晶洲在TOPcon电池湿法领域全面突破,成套设备批量交付客户并通过设备工艺验证,已交付设备涵盖了制绒清洗机、去BSP清洗机、碱抛刻蚀清洗机、去PSG清洗机、去绕度RCA清洗机等湿法主工艺设备。

(来自:晶洲装备)