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中微公司:喜迎全球第500台MOCVD设备付运里程碑

中微公司喜迎全球第500台MOCVD设备付运里程碑

10月25日,中微半导体设备(上海)股份有限公司(以下简称“中微公司”)宣布其MOCVD设备系列喜迎又一里程碑:全球第500台MOCVD设备顺利付运国内领先的LED外延片和芯片研发生产制造商。

本批次运付的第500台MOCVD设备为中微公司2021年6月推出的Prismo UniMax®,主要用于氮化镓基Mini LED外延片量产。

自面世以来,Prismo UniMax® MOCVD设备凭借优异的波长均匀性、高能效和高产能等优势迅速获得了市场认可,团队专业及时的现场支持和细致规范的技术服务也备受客户青睐。作为专为高性能Mini LED量产而设计的MOCVD设备,Prismo UniMax®具备高产能和高灵活性的特点,在同一系统中可配备多达4个反应腔,每个反应腔均可实现独立控制。Prismo UniMax®配置了785mm大直径石墨托盘,通过石墨托盘的不同设计配置,最多可实现同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片,有效提高产能并降低生产成本。此外,Prismo UniMax®创新的多区辅助加热调节系统,能精确控制托盘局部区域温度,有助于更大程度提升LED波长均匀性。

(来自:中微公司)